出货成功！吉佳蓝纳米级全自动纳米压印设备顺利交付！

好消息！来自无锡高新区的吉佳蓝中国总部项目2台纳米压印设备成功出货！

　　近日，吉佳蓝中国总部迎来了具有里程碑意义的时刻——首批次纳米压印设备（CITUS系列）已成功通过客户工艺验证，顺利装箱发货。这标志着吉佳蓝中国已完全具备高端半导体设备的量产及交付能力，从落户到出货跑出了令人瞩目的“加速度”。

　　MGM吉佳蓝

　　2025年3月，吉佳蓝中国总部在无锡高新区新港集成电路装备零部件产业园启用，是基于拥有25年以上业绩的韩国半导体设备企业GigaLane的技术实力成立的国产化设备制造企业。吉佳蓝作为全国唯一一家同时拥有刻蚀以及纳米压印设备生产制造研发的公司，通过不断创新，建立起压印+刻蚀一条龙服务，为客户营造无比便利的Demo环境，提供客户压印+刻蚀一站式全流程服务，得到业内一致好评。

　　此次成功出货的MGM压印设备是一个高精度工艺平台。MGM提供滚压RtoP以及真空面压PtoP等多种工艺方案，压印精度<20nm，残余层控制<10nm，高准对精度工艺设备，量产性机台同时提供软膜加工以及压印全自动一体化，月产能30pcs，满足高工艺要求的同时符合客户要求的高量产需求。

　　→ 匀胶模式：旋涂，喷墨，点涂

　　→ 兼容2~12inch晶圆&300mm*300mm方片

　　→ 对准精度±2um

　　→ 双工艺模块，“软膜加工+压印工艺”同步完成

　　→ 提供压印代工服务

　　吉佳蓝销售总监王琦表示：“压印设备的竞争力，不单单在于实现微细图案的层面，更在于能否以足够精密、稳定且具备高生产率的方式执行工艺。吉佳蓝将以高精度转印技术、工艺再现性、生产率，以及与压印树脂和模具用树脂相衔接的综合应对能力为基础，进一步强化在下一代光学·半导体工艺市场中的竞争力。”

　　吉佳蓝设备的竞争力并不仅限于精度，在实际产业现场，除了高分辨率之外，工艺速度、重复稳定性、维护运行效率等生产率方面的要求也同样重要。吉佳蓝的压印设备基于均匀的加压控制、稳定的工艺条件维持以及在重复工艺中的高再现性，在确保客户所需的生产率方面也展现出优势。这不仅提升了在研发阶段制作试产样品的价值，也增强了其作为未来可应用于量产的工艺平台的价值。